▌▌系統(tǒng)要求

該客戶是半導(dǎo)體行業(yè)中領(lǐng)先的晶圓制造公司，需要一個可以在CMP工藝過程中定位損壞和缺陷的檢查系統(tǒng)。由于晶片的特性材料，對表面純度和平面度進(jìn)行無損，非接觸式，波長敏感的視覺檢查至關(guān)重要。視覺檢查系統(tǒng)需要與自動化機(jī)器人處理系統(tǒng)同步，以提高生產(chǎn)率。在線視覺檢測設(shè)備的目標(biāo)是在保持生產(chǎn)率水平的同時提供高精度分析。客戶一直在尋找能夠快速執(zhí)行且具有高度精確的在線檢查功能的完整系統(tǒng)。客戶還希望減少安裝/維護(hù)工作量，因為存在許多不同種類的晶圓和缺陷類型。

▌▌系統(tǒng)描述

研華的機(jī)器視覺邊緣解決方案已安裝為CMP系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括CMP機(jī)械，機(jī)器人處理系統(tǒng)，視覺檢查系統(tǒng)和IT數(shù)據(jù)庫的上行數(shù)據(jù)。拋光晶片后，位置傳感器向視覺系統(tǒng)發(fā)送觸發(fā)信號。從不同的攝像機(jī)角度獲取了多幅圖像，并將其發(fā)送到視覺系統(tǒng)，在視覺系統(tǒng)中，VisionNavi軟件處理圖像以進(jìn)行缺陷檢查，然后驗證晶片。如果檢測到缺陷，視覺系統(tǒng)會發(fā)出“ NG”信號來拒絕晶圓，或者發(fā)出“ OK”信號來拾取晶圓以進(jìn)行下一步處理。圖像數(shù)據(jù)已還原并與客戶當(dāng)前的企業(yè)數(shù)據(jù)庫集成。

▌▌系統(tǒng)架構(gòu)

▌▌解決方案組件

• IPC-220： 帶有第六/第七代智能英特爾®酷睿™i CPU插槽的緊湊型工業(yè)計算機(jī)系統(tǒng)

• PCIE-1674E-AE：  4端口PCI Express GlgEVision幀捕獲器

• PCIE-1730H：  32通道TTL，32通道隔離的DigitalI / O PCIe卡

• QCAM-GM1440-073CE：  工業(yè)相機(jī)

▌▌為什么選擇研華？

研華的機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)集成了全球快門，高速工業(yè)相機(jī)，多通道計算平臺和視覺軟件，因此用戶無需擔(dān)心如何選擇兼容的產(chǎn)品。VisionNavi軟件采用圖形化和圖形化設(shè)計。基于流程圖的界面，用戶無需任何編程技能即可輕松完成視覺檢查應(yīng)用程序的開發(fā)和部署。

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